Η κατασκευή και η χρήση τουκαθαρό δωμάτιοθα πρέπει να μειώσει την εισαγωγή, την εμφάνιση και την κατακράτηση σωματιδίων σε εσωτερικούς χώρους, δηλαδή καθόλου ή λιγότερη εισαγωγή σωματιδίων, καθόλου ή λιγότερη εμφάνιση σωματιδίων, καθόλου ή λιγότερη κατακράτηση σωματιδίων κ.λπ.
Σύμφωνα με τις απαιτήσεις της παραγωγής προϊόντων, οι παράμετροιαρέσειθερμοκρασία, υγρασίαy και πίεση πρέπει να ελέγχονται.Σύμφωνα με τις απαιτήσεις της παραγωγής προϊόντων, η κατανομή του αέρα, η ταχύτητα του αέρα, ο θόρυβος, οι κραδασμοί, ο στατικός ηλεκτρισμός κ.λπ. στο καθαρό δωμάτιο πρέπει επίσης να ελέγχονται.Επομένως, το cleanroom (εργοστάσιο) και οι σχετικές εγκαταστάσεις μπορούν να χωριστούν χονδρικά σε οκτώ κατηγορίες:
(1) Εξοπλισμός καθαρισμού αέρα (εξοπλισμός ψύξης,μονάδα κλιματισμού, φίλτρο,ντους αέρα, καθαρό τραπέζι).
(2) Σύστημα καθαριότητας (έδαφος/δάπεδο, οροφή /FFU, μεταλλική επένδυση, πόρτα,μεταγραφικό παράθυρο/παράθυρο παρατήρησης, λάμπες).
(3) Σύστημα παροχής μέσου διεργασίας (συμπεριλαμβανομένου του εξοπλισμού) (καθαρό νερό, καθαρό αέριο, ειδικό αέριο, χημικά) .
(4) Έλεγχος μικροδονήσεων και ηλεκτροστατική προστασία.
(5) Καθαρό σύστημα ρούχων, προμήθειες καθαρού δωματίου (τραπέζι, καρέκλα, ντουλάπι, ράφι, ηλεκτρική σκούπα), αναλώσιμα καθαρού δωματίου.
(6) Όργανα δοκιμών.
(7) Εγκαταστάσεις προστασίας του περιβάλλοντος (σύστημα επεξεργασίας αερίων αποβλήτων, σύστημα επεξεργασίας λυμάτων).
(8)Dειδική συσκευή (συσκευή βιολογικής απομόνωσης, μικροπεριβάλλον)
Οι απαιτήσεις ελέγχου του περιβάλλοντος παραγωγής στην παραγωγή ηλεκτρονικών προϊόντων δεν έχουν μόνο αυστηρές απαιτήσεις για την καθαριότητα του αέρα στο δωμάτιο, αλλά έχουν επίσης αυστηρές απαιτήσεις για την περιεκτικότητα σε ακαθαρσίες όλων των ειδών μέσων υψηλής καθαρότητας σε άμεση επαφή με το διαδικασία παραγωγής ηλεκτρονικών προϊόντων — νερό υψηλής καθαρότητας, αέριο υψηλής καθαρότητας, χημικά υψηλής καθαρότητας, κ.λπ.
Ώρα ανάρτησης: 19 Αυγούστου 2021