Αυτόματος έλεγχος θερμοκρασίας και υγρασίας
Η θερμοκρασία και η υγρασία του καθαρού δωματίου καθορίζονται κυρίως σύμφωνα με τις απαιτήσεις της διαδικασίας, αλλά υπό την προϋπόθεση ότι πληρούνται οι απαιτήσεις της διαδικασίας, θα πρέπει να λαμβάνεται υπόψη η ανθρώπινη άνεση.Με την αύξηση των απαιτήσεων καθαριότητας του αέρα, υπάρχει μια τάση η διαδικασία να έχει όλο και πιο αυστηρές απαιτήσεις σε θερμοκρασία και υγρασία.
Καθώς η ακρίβεια κατεργασίας γίνεται όλο και πιο λεπτή, οι απαιτήσεις για το εύρος διακύμανσης θερμοκρασίας γίνονται όλο και μικρότερες.Για παράδειγμα, στη διαδικασία έκθεσης στη λιθογραφία της παραγωγής ολοκληρωμένων κυκλωμάτων μεγάλης κλίμακας, η διαφορά μεταξύ του συντελεστή θερμικής διαστολής του γυαλιού και του πλακιδίου πυριτίου ως υλικό του διαφράγματος απαιτείται να είναι ολοένα και μικρότερη.Μια γκοφρέτα πυριτίου με διάμετρο 100μm θα προκαλέσει γραμμική διαστολή 0,24μm όταν η θερμοκρασία αυξηθεί κατά 1 βαθμό.Επομένως, πρέπει να έχει σταθερή θερμοκρασία ±0,1 βαθμούς.Ταυτόχρονα, η τιμή υγρασίας γενικά απαιτείται να είναι χαμηλή, γιατί αφού ιδρώσει κάποιος, το προϊόν θα μολυνθεί, ειδικά Για τα εργαστήρια ημιαγωγών που φοβούνται το νάτριο, αυτού του είδους το καθαρό εργαστήριο δεν πρέπει να υπερβαίνει τους 25 βαθμούς.
Η υπερβολική υγρασία προκαλεί περισσότερα προβλήματα.Όταν η σχετική υγρασία ξεπεράσει το 55%, θα προκύψει συμπύκνωση στο τοίχωμα του σωλήνα νερού ψύξης.Εάν συμβεί σε συσκευή ή κύκλωμα ακριβείας, θα προκαλέσει διάφορα ατυχήματα.Είναι εύκολο να σκουριάσει όταν η σχετική υγρασία είναι 50%.Επιπλέον, όταν η υγρασία είναι πολύ υψηλή, η σκόνη στην επιφάνεια της γκοφρέτας πυριτίου θα απορροφηθεί χημικά από τα μόρια του νερού στον αέρα στην επιφάνεια, η οποία είναι δύσκολο να αφαιρεθεί.Όσο μεγαλύτερη είναι η σχετική υγρασία, τόσο πιο δύσκολο είναι να αφαιρεθεί η πρόσφυση, αλλά όταν η σχετική υγρασία είναι χαμηλότερη από 30%, τα σωματίδια επίσης απορροφώνται εύκολα στην επιφάνεια λόγω της δράσης της ηλεκτροστατικής δύναμης και μεγάλου αριθμού ημιαγωγών οι συσκευές είναι επιρρεπείς σε βλάβη.Το καλύτερο εύρος θερμοκρασίας για την παραγωγή γκοφρέτας πυριτίου είναι 35~45%.
